细化观察地磅遥控器内部结构

    采用缓冲氧化物刻蚀法制备了无线地磅控制器样品。制作过程包括六个步骤：1）在GaN晶圆上沉积500 nm的SiNx薄膜，然后进行2）光刻胶涂层，3）光曝光，4）光刻胶显影，5）干燥并去除SiNx/SiO2（掩模），以及6）氢退火[11]。一个手指的宽度和两个手指之间的间隙分别为80µm和100µm。每个手指的厚度为500纳米。首先用去离子水超声清洗样品，然后在地磅遥控器实验前风干半小时。

 

    传统显微镜和PIMI数字地磅遥控器之间的区别如图3所示。在传统光学显微镜中，远场点扩展函数（PSF）的形状是传统的，如图3（a）所示，其分辨率受到衍射极限的限制。然而，在PIMI中，由于使用不同线性偏振获得的散射信息的差异，PSF形状与通过常规显微镜获得的形状的偏差如图3（c）所示。基于近远场耦合的远场PSF量化和对相邻点产生的无关噪声的过滤使得PIMI系统能够将被测样品（SUM）的结构特征解析到衍射极限之外。用相同的光学元件记录的常规显微镜和PIMI暗场图像如图所示。分别为3（b）和（d）。PIMI参数ν表示慢轴和Ex轴之间的角度，它比传统显微图像（I00）更有效地解析侧壁的电子地磅控制器结构和散射信息。

    ɕ图像显示了侧壁边缘的各种亚波长散射细节，这在传统显微图像（I00）中几乎看不到。强度分布沿白线在图。如图4所示，绘制3（b）和（d）以供进一步比较。如预期的那样，用常规显微镜获得的强度剖面形状仅显示一个峰值，而在I00剖面的峰值下的区域内，在ν参数图像的强度剖面中出现几个峰值。这表明PIMI能够感知超出衍射极限的侧壁地磅遥控器结构信息。